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MEMS惯性器件与系统
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惯性器件是利用微纳加工技术，将微传感器、微执行器与集成电路集成于一体的微型器件。MEMS惯性器件主要包括MEMS加速度计和MEMS陀螺仪，是惯性测量单元（IMU）的核心组成部分。
MPS02
进气温度压力传感器
基于MEMS技术的小体积、高性能压力传感器，具有优秀的耐腐蚀性介质能力和快速响应能力。
MSI310F
微惯性测量组合
小型化、低功耗、高精度、高可靠性六自由度惯性传感器芯片。
MSPT1109A
压力温度复合传感器
应用于汽车热管理系统中，监测系统管路的压力和温度，具有精度高、响应时间短等优势。
ABA2000-C
安全气囊碰撞-中央加速度传感器
主要应用于被动安全系统，具有高可靠性、上电自检、零偏自动校正等特性。
MSP1215A
进气压力传感器
基于MEMS技术的小体积、高性能压力传感器，快速压力响应和高精度，适用于发动机歧管系统。
MSPT1119A
监测系统管路的压力和温度，具有精度高、响应时间短等优势，可根据客户要求进行特性定制。
MSP1203A
刹车压力传感器
基于原创的倒装焊压力芯片的压力传感器，优秀的抗结冰和快速响应能力，用于车辆刹车制动系统。
MTI270
用于汽车中安全气囊控制器、传动通道、乘客座椅下方或行李舱的单器件集成惯性传感器。
MSI313
紧凑型6自由度MEMS惯性模组，具有百万级装车应用案例。
MTS3005
动态倾角仪
专为风电行业设计的基于MEMS技术的高性能、抗干扰的动态倾角传感器。
MSVT1101A
温度振动复合传感器
对地铁运行过程中齿轮箱、电机组、轴箱等部件的振动和温度状态进行实时采集、监测和状态诊断。
MSV3008
失稳平稳检测传感器
实时监测高铁运行过程中的振动、摆幅、颠簸等信息，参与车辆运行控制系统。
HP
压力芯片
基于硅压阻效应，利用MEMS工艺，采用复合膜防护技术，开发的高性能压力传感器芯片。
FC
采用国际原创技术，基于硅压阻效应，利用MEMS晶圆级3D封装对压敏电阻进行真空密封保护。
MSP6102
充油芯体
以 “隔离防护”+“流体传递” 为核心，充分发挥MEMS芯片高灵敏度优势。
MNS301E
测姿仪
内置独特的姿态算法为载体提供稳定、可靠的姿态信息以及角速率和线性加速度信息。
MSG300D
三轴微陀螺
小型化、低功耗、3轴数字输出MEMS陀螺、超高抗冲击和抗振动性能、支持宽动态范围和带宽。
MSV300
三轴加速度传感器
采用单芯片三轴集成的形式，能稳定工作于各种复杂的冲击、振动和温度环境下。
MSA300D
三轴微加速度计
小型化、低功耗、3轴数字MEMS加速度计、支持宽动态范围和带宽。
MTI300ㅤ
微惯性测量单元
用于汽车惯性导航、智能驾驶，无人机、机器人控制等领域的高精度低功耗六轴集成芯片。
